名古屋大学 分子・物質合成プラットフォーム

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走査型電子顕微鏡 | 機種:JEOL社製 JSM-7500F

[概要] 

試料表面を電子線で走査し、その際に発生する2次電子から試料の微小表面の凹凸を画像化する装置です。

[主な仕様]
  • 電界放出形電子銃 
  • 二次電子分解能:1.0nm(15kV)、1.4nm(1kV)
  • 倍率:×25~1,000,000 加速電圧:0.1~30kV ・ジェントルビーム
  • オプション:リトラクタブル反射電子検出器(RBEI)、エネルギー分散形X線分析装置(EDS)